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          Product Center

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          TH513 半導(dǎo)體C-V特性分析儀

          簡(jiǎn)要描述:■ 一體化設(shè)計(jì):LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機(jī)軟件■ 單管器件(點(diǎn)測(cè))、模組器件(列表掃描)、曲線掃描(選件)三種測(cè)試方式■ 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測(cè)量及顯示■ 標(biāo)配2通道,可擴(kuò)展至6通道,可測(cè)單管、多芯或模組器件(TH513僅1通道)■ CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描■ 電容快速充電技術(shù),實(shí)現(xiàn)快速測(cè)試■ 接觸檢查Cont■ 通斷測(cè)試OP_SH■ 自動(dòng)延時(shí)設(shè)置■ 柵極電壓VGS:0 - ±40V■ 漏極電壓VDS:0 - ±3000V■ 10檔分選

          • 產(chǎn)品型號(hào):
          • 廠商性質(zhì):代理商
          • 更新時(shí)間:2025-06-03
          • 訪  問(wèn)  量:1610

          詳細(xì)介紹

          簡(jiǎn)介

          TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢(shì),針對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計(jì)的分析儀器。

          儀器采用了一體化集成設(shè)計(jì),二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測(cè)試,無(wú)需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù),單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測(cè)試,適用于生產(chǎn)線快速測(cè)試、自動(dòng)化集成。

          CV曲線掃描分析能力亦能滿足實(shí)驗(yàn)室對(duì)半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

          儀器設(shè)計(jì)頻率為1kHz-2MHz,VGS電壓可達(dá)±40V,VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V,足以滿足大多數(shù)功率器件測(cè)試。

          功能特點(diǎn)

          A.一體化測(cè)試,集成度高、體積小、效率高

          一臺(tái)儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機(jī)軟件,將復(fù)雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi),操作更簡(jiǎn)單。特別適合產(chǎn)線快速化、自動(dòng)化測(cè)試。

          B.單管器件測(cè)試,10.1寸大屏,四種寄生參數(shù)同屏顯示,讓細(xì)節(jié)一覽無(wú)遺

          MOSFET或IGBT最重要的四個(gè)寄生參數(shù):Ciss、Coss、Crss、Rg,Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測(cè)試,10.1寸大屏可同時(shí)將測(cè)量結(jié)果、等效電路圖、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時(shí)顯示,一目了然。

          一鍵測(cè)試單管器件器件時(shí),無(wú)需頻繁切換測(cè)試腳位、測(cè)量參數(shù)、測(cè)量結(jié)果,大大提高了測(cè)試效率。

          C.列表測(cè)試,多個(gè)、多芯、模組器件測(cè)量參數(shù)同屏顯示

          TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個(gè)單管器件、6芯器件或6模組器件測(cè)試,所有測(cè)量參數(shù)通過(guò)列表掃描模式同時(shí)顯示測(cè)試結(jié)果及判斷結(jié)果。

          D.曲線掃描功能(選件)

          在MOSFET的參數(shù)中,CV特性曲線也是一個(gè)非常重要的指標(biāo),如下圖

          TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,可以以對(duì)數(shù)、線性兩種方式實(shí)現(xiàn)曲線掃描,可同時(shí)顯示多條曲線:同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。

          E.的接觸檢查(Contact)功能,提前排除自動(dòng)化測(cè)試隱患

          F.的快速通斷測(cè)試(OP_SH),排除損壞器件

          在半導(dǎo)體器件特性測(cè)試時(shí),由于半器件本身是損壞件,特別是多芯器件其中一個(gè)芯已經(jīng)損壞的情況下,測(cè)試雜散電容仍有可能被為合格,而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是最重要的特性。

          因此,對(duì)于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測(cè)試是沒(méi)有必要的,不僅僅浪費(fèi)了測(cè)量時(shí)間,同時(shí)會(huì)由于C-V合格而混雜在良品里,導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來(lái)?yè)p失.

          TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測(cè)試(OP_SH)功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能。

          G.模組式器件設(shè)置,支持定制

          針對(duì)模組式器件如雙路(Dual)MOSFET、多組式IGBT,有些器件會(huì)有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對(duì)此情況做了優(yōu)化,常見(jiàn)模組式芯片Demo已內(nèi)置,特殊芯片支持定制.

          H.簡(jiǎn)單快捷設(shè)置

          I.10檔分選及可編程HANDLER接口

          J.支持定制化,智能固件升級(jí)方式

          同惠儀器對(duì)于客戶而言是開(kāi)放的,儀器所有接口、指令集均為開(kāi)放設(shè)計(jì),客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制,定制功能若無(wú)硬件更改,可直接通過(guò)固件升級(jí)方式更新。

          儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級(jí)等,都可以通過(guò)升級(jí)固件(Firmware)來(lái)進(jìn)行更新,而無(wú)需返廠進(jìn)行。

          固件升級(jí)非常智能,可以通過(guò)系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行,智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤(pán)甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級(jí)包,并自動(dòng)進(jìn)行升級(jí)

          K.技術(shù)解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線/自動(dòng)化系統(tǒng)高速測(cè)試精度

          同惠電子在電容測(cè)試行業(yè)近30年的經(jīng)驗(yàn)積累,得以在產(chǎn)線、自動(dòng)化測(cè)試等高速高精度測(cè)試場(chǎng)合,都能保證電容、電阻等測(cè)試精度。

          常規(guī)產(chǎn)線測(cè)試,提供標(biāo)準(zhǔn)0米測(cè)試夾具,直插器件可直接插入進(jìn)行測(cè)試,Ciss、Coss、Crss、Rg測(cè)試精度高。

          針對(duì)自動(dòng)化測(cè)試,由于自動(dòng)化設(shè)備測(cè)試工裝通常需要較長(zhǎng)連接線,大多自動(dòng)化設(shè)備生產(chǎn)商在延長(zhǎng)測(cè)試線時(shí)會(huì)帶來(lái)很大的精度偏差,為此,同惠設(shè)計(jì)了的2米延長(zhǎng)線并內(nèi)置了2米校準(zhǔn),保證Ciss、Coss、Crss、Rg測(cè)試精度和0米測(cè)試夾具一致。

          L.半導(dǎo)體元件寄生電容知識(shí)

          在高頻電路中,半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會(huì)影響半導(dǎo)體的動(dòng)態(tài)特性,所以在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體元件時(shí)需要考慮下列因數(shù)

          在高頻電路設(shè)計(jì)中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來(lái)的影響;MOS管的寄生電容會(huì)影響管子的動(dòng)作時(shí)間、驅(qū)動(dòng)能力和開(kāi)關(guān)損耗等多方面特性;寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計(jì)中也是至關(guān)重要,以MOSFET為例。

          M.標(biāo)配附件


          應(yīng)用

          半導(dǎo)體元件/功率元件

          二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光

          電子芯片等寄生電容測(cè)試、C-V特性分析

          半導(dǎo)體材料

          晶圓切割、C-V特性分析

          液晶材料

          彈性常數(shù)分析

          電容元件

          電容器C-V特性測(cè)試及分析,電容式傳感器測(cè)試分析


          技術(shù)參數(shù)

          產(chǎn)品型號(hào)


          TH511

          TH512

          TH513

          通道數(shù)


          2(可選配4/6通道)


          1

          顯示

          顯示器


          10.1英寸(對(duì)角線)電容觸摸屏

          比例


          16:9

          分辨率


          1280×RGB×800

          測(cè)量參數(shù)


          Ciss、Coss、CrssRg,四參數(shù)任意選擇

          測(cè)試頻率

          范圍


          1kHz-2MHz

          精度


          0.01%

          分辨率


          10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz

          100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz

          1Hz 100.000kHz-999.999kHz

          10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz

          測(cè)試電平

          電壓范圍


          5mVrms-2Vrms

          準(zhǔn)確度


          ±10%×設(shè)定值+2mV

          分辨率


          1mVrms 5mVrms-1Vrms

          10mVrms 1Vrms-2Vrms

          VGS電壓

          范圍


          0 - ±40V

          準(zhǔn)確度


          1%×設(shè)定電壓+8mV

          分辨率


          1mV 0V - ±10V

          10mV ±10V -±40V

          VDS電壓

          范圍


          0 - ±200V


          0 - ±1500V

          0 - ±3000V

          準(zhǔn)確度


          1%×設(shè)定電壓+100mV

          輸出阻抗


          100Ω,±2%@1kHz

          數(shù)學(xué)運(yùn)算


          與標(biāo)稱值的偏差Δ,與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%

          校準(zhǔn)功能


          開(kāi)路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD

          測(cè)量平均


          1-255

          AD轉(zhuǎn)換時(shí)間(ms/次)


          快速+2.5ms(5kHz) 快速:11ms 中速:90ms 慢速:220ms

          準(zhǔn)確度


          0.5%(具體參考說(shuō)明書(shū))

          Ciss、Coss、Crss


          0.00001pF - 9.99999F

          Rg


          0.001mΩ - 99.9999MΩ

          Δ%


          ±0.000% - 999.9%

          多功能參數(shù)列表掃描

          點(diǎn)數(shù)


          50點(diǎn),每個(gè)點(diǎn)可設(shè)置平均數(shù),每個(gè)點(diǎn)可單獨(dú)分選

          參數(shù)


          測(cè)試頻率、VgVd、通道

          觸發(fā)模式


          順序SEQ:當(dāng)一次觸發(fā)后,在所有掃描點(diǎn)測(cè)量,/EOM/INDEX只輸出一次

          步進(jìn)STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個(gè)掃描點(diǎn)測(cè)量,每點(diǎn)均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出

          圖形掃描

          掃描點(diǎn)數(shù)


          任意點(diǎn)可選,最多1001點(diǎn)

          結(jié)果顯示


          同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線

          顯示范圍


          實(shí)時(shí)自動(dòng)、鎖定

          坐標(biāo)標(biāo)尺


          對(duì)數(shù)、線性

          掃描參數(shù)觸發(fā)方式


          Vg、Vd

          單次

          手動(dòng)觸發(fā)一次,從起點(diǎn)到終點(diǎn)一次掃描完成,下個(gè)觸發(fā)信號(hào)啟動(dòng)新一次掃描

          連續(xù)

          從起點(diǎn)到終點(diǎn)無(wú)限次循環(huán)掃描

          結(jié)果保存


          圖形、文件



          附件
          標(biāo)配
          配件名稱型號(hào)
          TH510夾具控制連接電纜 TH26063D
          TH510測(cè)試延長(zhǎng)線 TH26063G
          選配
          配件名稱型號(hào)

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